废气治理系统采用等离子体+高能紫外光解技术核心处理工艺，并配置喷淋洗涤等辅助技术。

工艺流程说明

VOCs废气经集气系统，进入废气净化装置；首先采用预处理装置，去除大颗粒物质和少量油烟。
    喷淋洗涤模块设有顺流循环喷淋系统、错流循环喷淋系统、重力沉降、碰撞除尘、气流均布装置，可以去除微小粉尘和可溶性VOCs成份。
    喷淋洗涤后后，废气进入设备的核心处理区域      等离子净化区，等离子净化采用注入式等离子发生装置。外界新鲜空气经等离子发生装置，得到等离子体送入等离子净化区。在等离子净化区，大部分VOCs分子被等离子体轰击、氧化后变成无毒、无色、无味的气体。
    夹杂着部分等离子体的废气到达高能紫外光解模块。高强辐照场对VOCs有破坏作用并产生活泼的次生氧化剂；VOCs在氧化剂和光的协同作用下持续发生氧化分解，最终生成二氧化碳和水。